2024年12月26日,深圳——深圳市电子学会常务副理事长兼秘书长夏俊带领学会八届理事会常务理事北京大学教授、北京大学深圳系统芯片设计重点实验室主任何进,常务理事、深圳职业技术大学电子学院/集成电路学院副院长余菲,以及电子学会七届理事会常务理事、深圳市安普盛公司总经理甘廷文等一行,莅临新晋理事单位——深圳市华芯半导体装备技术有限公司(以下简称“华芯装备”)进行调研。此次调研旨在深入了解华芯装备在电控技术、温度传感器、总线通讯技术等领域的最新进展,并就人才培养、检测认证、场景应用及设备领域产业链、生态发展等问题进行了深入交流。
华芯装备作为我国半导体高端装备核心电控零部件研发、生产、销售的高科技龙头企业,自2022年成立以来,积极响应国家号召,聚焦国内半导体产业发展需求,攻克了一系列“卡脖子”技术难题。公司成功开发了气体流量控制系统、电源及气体反应系统、真空系统、晶圆传送系统、光源系统五大系统的电子控制核心部件,填补了国内空白,多项技术成果已形成相关专利,总计拥有150余项专利,成为国内电控技术的领军企业。
在调研中,华芯装备董事长夏裕详细介绍了公司在电控技术、温度传感器、总线通讯技术等方面的研发进展。特别是公司自主研发的光纤测温仪HT1050系列,该产品对标国际先进水平,率先实现了国产化替代,广泛应用于国内主流晶圆厂和设备厂的生产线,得到了长江存储、北方华创、沈阳拓荆科技等知名企业的认可和采购。此外,华芯装备还主导了某战斗机飞行控制系统开发项目,参与了国家发改委7纳米刻蚀机国产化项目,展现了其在高端装备制造领域的强大实力。
调研过程中,学会常务副理事长兼秘书长夏俊高度评价了华芯装备在技术创新和人才培养方面的努力。他表示,华芯装备不仅在技术研发上取得了显著成就,还在人才培养方面做出了积极探索。公司拥有一支由半导体、计算机、数学、物理、化学、机械等多学科背景组成的高水平研发团队,核心团队成员经验丰富,具备卓越的创新能力。华芯装备还与北京航空航天大学、武汉理工大学等高校建立了紧密的合作关系,共同承担国家重大科研项目,推动产学研深度融合。
北京大学教授、北京大学深圳系统芯片设计重点实验室主任何进指出,华芯装备的成功经验为其他企业提供了宝贵的借鉴。他强调,未来应进一步加强高校与企业的合作,特别是在人才培养和技术创新方面,双方可以共同探索更多合作模式,如联合培养研究生、共建实验室等,为行业输送更多高素质的专业人才。
在交流环节,各方围绕如何构建完善的产业链生态展开了热烈讨论。深圳职业技术大学电子学院/集成电路学院副院长余菲表示,华芯装备在电控技术领域的突破,不仅提升了国内半导体装备的自主可控能力,也为下游企业提供了更多的选择。她建议,未来应进一步加强上下游企业的协同合作,共同打造一个开放、共享的产业生态系统,推动整个产业链的高质量发展。
深圳市安普盛公司总经理甘廷文则从企业的角度出发,分享了他对产业链发展的看法。他认为,华芯装备的成功离不开对市场需求的精准把握和对技术创新的持续投入。他呼吁更多的企业加入到自主创新的行列中来,共同应对全球竞争挑战,提升中国半导体产业的整体竞争力。
调研最后,学会常务副理事长兼秘书长夏俊向华芯装备董事长夏裕颁发了牌匾和证书,正式确认华芯装备为深圳市电子学会的新晋理事单位。这一荣誉不仅是对华芯装备过去成绩的认可,更是对其未来发展的鼓励和支持。夏俊表示,希望华芯装备能够继续发挥自身优势,积极参与学会的各项活动,为推动深圳乃至全国的电子信息产业发展作出更大贡献。
华芯装备董事长夏裕,公司领导刘凯章等,对学会领导一行的到来表示感谢,并表示公司将以此为契机,进一步加大研发投入,提升技术水平,拓展市场应用,为实现半导体装备全面国产替代,解决“卡脖子”问题贡献力量。
此次调研活动不仅加深了学会与企业的沟通与合作,也为深圳电子信息产业的发展注入了新的动力。未来,深圳市电子学会将继续发挥桥梁纽带作用,汇聚各方力量,共同推动深圳建设成为具有全球影响力的科技创新高地。
深圳市华芯半导体装备技术有限公司成立于2022年,专注于半导体高端装备核心电控零部件的研发、生产和销售。公司依托华科电子的技术积累,致力于攻克半导体制造中的“卡脖子”技术,目前已取得多项技术突破,形成了五大系列产品,广泛应用于光刻机、刻蚀机、离子注入机和沉积设备等领域。华芯装备已成为国内领先的电控核心零部件供应商,服务于中芯国际、长江存储、北方华创等多家知名半导体企业。公司将继续秉承创新精神,为推动中国半导体产业的高质量发展贡献力量。
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